Тип подвеса
подшипник с консистентной смазкой
Фланец (вход)
DN63 CF, DN250 ISO-K
Скорость откачки (по гелию), л/с
55
Скорость откачки (по азоту), л/с
62
Скорость откачки (по аргону), л/с
65
Скорость откачки (по водороду), л/с
34
Предельное остаточное давление, Па
CF: 5x10^-6, ISO-K: 3x10^-5
Степень сжатия (по азоту), л/с
10^9
Степень сжатия (по аргону), л/с
10^9
Степень сжатия (по водороду), л/с
10^4
Степень сжатия (по гелию), л/с
10^5
Время запуска, мин
2
Макс. потребляемая мощность, Вт
90
Напряжение питания, В
DC24/AC220
Максимальное форвакуумное давление при продолжительной работе, Па
500
Максимальное форвакуумное давление, Па
1500
Пропускная способность газа (по азоту), см3/мин
35
Пропускная способность газа (по аргону), см3/мин
38
Пропускная способность газа (по водороду), см3/мин
19
Пропускная способность газа (по гелию), см3/мин
30
Скорость вращения, об/мин
72000
Расход охлаждающей воды, л/мин
1
Фланец (выход)
DN16
Температура охлаждающей воды, ℃
≦ 25
Тип охлаждения, стандартный
Водяное или воздушное
Масса, кг
2.6 (ISO-K) / 3.5 (CF)
