Тип подвеса
магнитный подвес
Фланец (вход)
DN250 ISO-K), DN250 ISO-F), DN250 CF
Скорость откачки (по гелию), л/с
2250
Скорость откачки (по азоту), л/с
2300
Скорость откачки (по аргону), л/с
850
Скорость откачки (по водороду), л/с
1900
Предельное остаточное давление, Па
CF: 1x10^-6, ISO-K/F: 6x10^-6
Степень сжатия (по азоту), л/с
10^8
Степень сжатия (по аргону), л/с
10^3
Степень сжатия (по водороду), л/с
10^4
Степень сжатия (по гелию), л/с
10^8
Время запуска, мин
11
Напряжение питания, В
220
Максимальное форвакуумное давление при продолжительной работе, Па
60
Максимальное форвакуумное давление, Па
250
Пропускная способность газа (по азоту), см3/мин
3600
Пропускная способность газа (по аргону), см3/мин
2100
Пропускная способность газа (по водороду), см3/мин
2800
Пропускная способность газа (по гелию), см3/мин
1400
Скорость вращения, об/мин
27000
Расход охлаждающей воды, л/мин
1
Фланец (выход)
DN40
Температура охлаждающей воды, ℃
20
Тип охлаждения, стандартный
Водяное
Масса, кг
59(ISO-K/F);62(CF);
