Тип подвеса
магнитный подвес
Фланец (вход)
DN200 ISO-K, DN200 ISO-F, DN200 CF
Скорость откачки (по гелию), л/с
1360
Скорость откачки (по азоту), л/с
1400
Скорость откачки (по аргону), л/с
560
Скорость откачки (по водороду), л/с
880
Предельное остаточное давление, Па
CF: 1x10^-6, ISO-K/F: 6x10^-6
Степень сжатия (по азоту), л/с
10^8
Степень сжатия (по аргону), л/с
10^3
Степень сжатия (по водороду), л/с
10^4
Степень сжатия (по гелию), л/с
10^8
Время запуска, мин
8
Напряжение питания, В
220
Максимальное форвакуумное давление при продолжительной работе, Па
100
Максимальное форвакуумное давление, Па
210
Пропускная способность газа (по азоту), см3/мин
2700
Пропускная способность газа (по аргону), см3/мин
1800
Пропускная способность газа (по водороду), см3/мин
2000
Пропускная способность газа (по гелию), см3/мин
980
Скорость вращения, об/мин
30000
Расход охлаждающей воды, л/мин
1
Фланец (выход)
DN40
Температура охлаждающей воды, ℃
20
Тип охлаждения, стандартный
Водяное
Масса, кг
50(ISO-K/F);52(CF);
