Входной фланец
DN63 ISO-K, DN63 CF
Предельное давление (азот), ISO_K
<3.5X10^-6 Pa (2.6X10^-8Torr)
Максимальная скорость откачки азота, л/с
62
Максимальная скорость откачки гелия, л/с
55
Пропускная способность газа (азот), Sccm
100
Пропускная способность газа (гелий), Sccm
80
Входное давление, макс. (азот), Па
10
Входное давление, макс. (гелий), Па
10
Фланец (байпасный)
Ф10 Quick connection